Verringerung PARASITICS in mim Kappe

[hacksgen]

Hi everyone,

Ich würde gerne wissen, ob es ein Mittel zur Unterdrückung der parasitären Kapazitäten in mim Caps.Die Technologie, die in einem umc 0.18um Imager Technologie mit 4 Metall-Schichten und die mim Kappe zwischen M3 und M4 Schichten.Ich bin der Gestaltung eine Gebühr Umverteilung SAR-ADC für 12-Bit-Auflösung, und ich denke, die Parasiten können eine wichtige Rolle spielen in diesem Design.Alle Vorschläge zur Reduzierung der parasitären capcitance für einen bestimmten Kondensator C.

Danke

 

[Samstag]

Sie bedeuten - während der Extraktion Sie wollen vermeiden, dass eine doppelte Zählung von parasitären Caps?- Wenn ja - müssen Sie während der Sperrung Techniken RC Extraktion.

Wenn Sie verringern parasitären C Platten aus Metall, um in der Nähe verlegt Interconnects - und die Verringerung der entkoppelten GAP Substrat [GND] ..Dann lesen Sie die folgenden:

Ich weiß es nicht - Technik zu unterdrücken, sie vollständig oder erheblich - glaube nicht, dass der Abschirmung - das wird dies weiter tun.

Vermeiden Sie andere geroutet Schichten über und unter MIM Struktur - wenn möglich.Da es sich um ein 4-Metall-Prozess - und GAP-Top ist mit M4 gibt es keine Gefahr von oben - Nun, können Sie entfernen dielektrische Passivierung auf der Spitze, wo es eine MIM -, die Reduzierung der Bereich Kopplung zu einem sehr geringen Teil .[Effekt wird nicht bemerkenswert]

Auf dem Boden - zur Verringerung der Entkopplung GAP Wert - Sie können nicht aus einer geerdeten psub unter MIM, zur Verringerung der Substrat-Kopplung - könnte Ziehung einer NWELL Form unter MIM, die NWELL fungiert praktisch als eine weitere Durchführung Platte / p-Schicht zwischen Substrat und mim -Bot [M3] - und die Erschöpfung GAP zwischen schwimmenden NWell und PSUB - werden noch hinzukommen, wie in einer anderen GAP-Serie mit MIM.[Nichts verbessern wird es dramatisch]

Wenn Sie wissen, eine andere Technik - Ich interessiere mich zu lernen.

Danke

 

[hacksgen]

Vielen Dank für Ihre Beratung.Ich bin immer noch versuchen herauszufinden, measn, um die Parasiten.Von der Gießerei Unterlagen habe ich zu wissen, dass die PARASITICS kann so hoch wie 12 Prozent der geplanten capcitance zwischen Bodenplatte und subtrate.Daher habe ich versucht sie irgendwie zu verringern oder zu kündigen, ihre Wirkung.