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neoflash
Guest
Ausgehend von 55nm-Technologie von TSMC beginnt MOM Kondensator in CMOS-Technologie bieten generische wie 40LP. Meine Frage ist, ob TSMC keine spezielle Behandlung für diese MOM Bereich, um das Metall Breite / Raum Genauigkeit zu verbessern? (Die schließlich verbessern Kondensator Genauigkeit) oder MOM Kappe ist nur eine ganz normale Metall Finger Kappe, die ein spezielles Layout-Muster. Normalerweise werden feinste Metall Abstand verursachen Metall-Metall-Finger Kondensator Variation so groß wie etwa + / - 20% oder sogar noch schlimmer. Ich hörte von der Straße, die MOM Kondensator Genauigkeit von + / - 10%. Ich bin neugierig, ob dies wirklich. Danke, Neo