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bei der Verwendung von asitic Modellierung Induktionen, sie erfordern eine Technologie-Datei wie folgt aus:
<chip>
chipx = 512; Dimensionen des Chips in x-Richtung in microns
chipy = 512; Dimensionen des Chips in y-Richtung
fftx = 256; x-FFT-Größe (muss einer Leistung von 2)
ffty = 256, y-FFT-Größe
TechFile = sample.tek; der Name dieser Datei
TechPath = / home / niknejad / tekf; den Pfadnamen der Dateien
freq = ,1
Eddy = 0; Layer 0 definiert ist leitfähig
Eddy = 1; Layer 1 definiert ist, auch leitfähig
, Layer-2 ist nicht leitend (Oxid)
<layer> 0; Bulk-Substrat
rho = ,1; Widerstandsmesser: Ohm-cm
t = 400; Dicke: Mikron
eps = 11,9; Permitivity: relative
<layer> 1; Epi Layer
rho = 15; Ohm-cm
t = 1; Mikron
eps = 11,9; relative
<layer> 2; Oxidschicht
rho = 1e10; Ohm-cm
t = 50; Mikron
eps = 4; relative
<metal> 0; Substrat Kontakt Layer
layer = 1; Epi Layer
rsh = 30; Sheet Resistance Milli-Ohms/Square
t = 0,1; Metal Dicke (Mikrometer)
d = ,5; Entfernung von der unteren Schicht (Mikrometer)
name = msub; Namen, die in ASITIC
Farbe = gelb; Farbe in ASITIC
<via> 0; Metall 1 zum Substrat
top = 1; über eine Verbindung zu dieser Metallschicht
unten = 0; über eine Verbindung zu dieser Metallschicht
r = 5; Widerstand je über
width = ,4; Breite von über
Raum = 1,3; Minimaler Abstand zwischen den Vias
overplot1 = ,3; mindestens dist zum Substrat Metall
overplot2 = ,3; mindestens dist zu Metall 1
name = via0; Namen in ASITIC
color = purple; Farbe in ASITIC
<metal> 1; Metall-Schicht 1
Schicht = 2
rsh = 50
t = 1
d = 1,62
name = m1
color = red
<via> 1; Metall 1 zu Metall 2
top = 2
unten = 1
r = 4
width = ,5
Raum = 1,5
overplot1 = ,4; zum Substrat Metall
overplot2 = ,4; auf Metall 1
name = via1
Farbe = weiß
<metal> 2; Metall 2
Schicht = 2
rsh = 32
t = 1,3
d = 2,74
name = m2
Farbe = blauWo finde ich diese Parameter im Charta-Prozess Kit ???????
<chip>
chipx = 512; Dimensionen des Chips in x-Richtung in microns
chipy = 512; Dimensionen des Chips in y-Richtung
fftx = 256; x-FFT-Größe (muss einer Leistung von 2)
ffty = 256, y-FFT-Größe
TechFile = sample.tek; der Name dieser Datei
TechPath = / home / niknejad / tekf; den Pfadnamen der Dateien
freq = ,1
Eddy = 0; Layer 0 definiert ist leitfähig
Eddy = 1; Layer 1 definiert ist, auch leitfähig
, Layer-2 ist nicht leitend (Oxid)
<layer> 0; Bulk-Substrat
rho = ,1; Widerstandsmesser: Ohm-cm
t = 400; Dicke: Mikron
eps = 11,9; Permitivity: relative
<layer> 1; Epi Layer
rho = 15; Ohm-cm
t = 1; Mikron
eps = 11,9; relative
<layer> 2; Oxidschicht
rho = 1e10; Ohm-cm
t = 50; Mikron
eps = 4; relative
<metal> 0; Substrat Kontakt Layer
layer = 1; Epi Layer
rsh = 30; Sheet Resistance Milli-Ohms/Square
t = 0,1; Metal Dicke (Mikrometer)
d = ,5; Entfernung von der unteren Schicht (Mikrometer)
name = msub; Namen, die in ASITIC
Farbe = gelb; Farbe in ASITIC
<via> 0; Metall 1 zum Substrat
top = 1; über eine Verbindung zu dieser Metallschicht
unten = 0; über eine Verbindung zu dieser Metallschicht
r = 5; Widerstand je über
width = ,4; Breite von über
Raum = 1,3; Minimaler Abstand zwischen den Vias
overplot1 = ,3; mindestens dist zum Substrat Metall
overplot2 = ,3; mindestens dist zu Metall 1
name = via0; Namen in ASITIC
color = purple; Farbe in ASITIC
<metal> 1; Metall-Schicht 1
Schicht = 2
rsh = 50
t = 1
d = 1,62
name = m1
color = red
<via> 1; Metall 1 zu Metall 2
top = 2
unten = 1
r = 4
width = ,5
Raum = 1,5
overplot1 = ,4; zum Substrat Metall
overplot2 = ,4; auf Metall 1
name = via1
Farbe = weiß
<metal> 2; Metall 2
Schicht = 2
rsh = 32
t = 1,3
d = 2,74
name = m2
Farbe = blauWo finde ich diese Parameter im Charta-Prozess Kit ???????